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潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同,它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內(nèi),在硅襯底上只要落有電路線寬1/10~1/3大小的塵埃,就可能導致芯片電路短路。如今,半導體集成電路的發(fā)展突飛猛進,近英特爾公司更是推出了采用32


nm線寬的處理器芯片,把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外,潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外,還對溫度、濕度、震動、噪音等都有不同程度要求。

 同時,由于半導體器件生產(chǎn)工藝的特點,要求潔凈廠房內(nèi)全天(24h)保持相應的潔凈度,目此,潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應的輸送系統(tǒng)需每天24

h運行,這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。


潔凈車間工程要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施,而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應的措施:不但要有合理的設計,而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝,以及正確的使用潔凈室和科學的維護管理。為使?jié)崈羰耀@得良好的效果,國內(nèi)外已有不少文獻從不同的角度作過闡述。

實際上,不同專業(yè)之間很難做到理想地配合,而且設計者很難把握施工安裝質(zhì)量以及使用和管理情況,尤其后者。就潔凈室凈化措施而言,許多設計者,或者還有施工方,往往對其必要條件未予足夠重視,造成潔凈效果不理想。

亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流(從送風口到回風口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是:突變流;非均勻流。


這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個過濾器頂送的送風形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。